スパッタリングターゲット材

コーティング材料

型番

FK0001

名称 Chemical Symbol Density(g/cm3) Melting Point(℃) Purity(%) 仕様(mm)
高純度銀 Ag 10.49 961 99.9~99.999 Threadiness, Columnar, Platy
高純度金 Au 19.32 1062 99.95~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高純度プラチナ Pt 21.5 1774 99.95~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高純度クロム Cr 7.2 1890 99.5~99.99 Particle
高純度ニッケル Ni 8.9 1453 99.9~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高純度タンタル Ta 16.6 2996 99.9~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高純度ニオブ Nb 8.6 2468 99.9~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高純度チタン Ti 4.5 1675 99.5~99.999 Threadiness, Columnar, Platy
高純度ジルコニウム Zr 6.5 1852 99~99.99 Threadiness, Columnar, Platy
高纯ハフニウム Hf 13.3 2233 99~99.99 Threadiness, Columnar, Platy

スパッタリングターゲット材

型番 FK0002
名称 記号 Purity(%) 仕様(mm)
銀ターゲット材 Ag 99.95~99.99 Plane靶材
銀銅合金ターゲット材 Ag-Cu28at% 99.9~99.99 Plane靶材
金ターゲット材 Au 99.95~99.99 Plane靶材
金銀銅合金ターゲット材 Au-Ag-Cu 99.95~99.99 Plane靶材
プラチナターゲット材 Pt 99.95~99.99 Plane靶材
ロジウムターゲット材 Rh 99.9~99.99 Plane靶材
ルテニウムターゲット材 Ru 99.9~99.99 Plane靶材
イットリウムターゲット材 Y 99.9~99.99 Plane靶材
パラジウムターゲット材 Pd 99.9~99.99 Plane靶材
タンタルターゲット材 Ta 99.9~99.99 Plane靶材
ニオブターゲット材 Nb 99.9~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
ニオブジルコニウム  合金ターゲット材 Nb-Zr10at% 99~99.95 Plane靶材
ウォルフラムターゲット材 W 99.95~99.999 Plane靶材
モリブデンターゲット材 Mo 99.9~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
チタンターゲット材 Ti 99.5~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
ジルコニウムターゲット材 Zr 99.5~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
ニッケルターゲット材 Ni 99.5~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
ハフニウムターゲット材 Hf 99.5~99.99 Plane靶材
クロムターゲット材 Cr 99.5~99.99 Plane靶材, Rotary靶材
チタンアルミ合金ターゲット材 Ti-Al20/30/50at% 99.5~99.9 Plane靶材
チタンニオブ合金ターゲット材 Ti-Nb50at% 99.5~99.9 Plane靶材
ニッケルクロム合金ターゲット材 Ni-Cr 20at% 99.5~99.9 Plane靶材
モリブデンニオブ  合金ターゲット材 Mo-Nb10 at% 99.5~99.95 Plane靶材
アルミルビジウム合金ターゲット材 Al-Nd3 at% 99.5~99.9 Plane靶材

製品展示

タンタル

ニオブ

ニッケル

ウォルフラム

モリブデン

チタン

生物医学用チタン

ジルコニウム

ハフニウム

スパッタリングターゲット材